Dependence of secondary ion emission on the mass of the bombarding ions (Z1-dependence)

Autor: H. Düsterhöft
Rok vydání: 1978
Předmět:
Zdroj: Physica Status Solidi (a). 50:503-507
ISSN: 1521-396X
0031-8965
DOI: 10.1002/pssa.2210500218
Popis: The results of measurements of the positive secondary-ion yield S+ and the sputtering efficiency γ at a primary-ion energy of 12 keV under dynamical conditions are reported. He+, Ne+, Ar+, Kr+, and Xe+ions served as bombarding ions (Z1-dependence). 14 elements are investigated (Z2-dependence), and the sputtering yields S were added wherever they were available from the literature. The positive secondary ion yield decreases with increasing mass of the bombarding ions. Using the values of S, S+, and γ as functions of Z1 and Z2, the Schroeer model of adiabatic surface ionization is examined and the exponents n are determined by a quotient method. The different dependences of S and S+ are discussed on the basis of this model. Es werden die Ergebnisse von Messungen der positiven Sekundarionenausbeute S+ und des Energieemissionskoeffizienten (sputtering efficiency) γ bei 12 keV Primarionenenergie unter dynamischen Bedingungen mitgeteilt. Als Beschusionen (Z1-Abhangigkeit) dienten +, Ne+, Ar+, Kr+, and Xe+ Ionen. Es werden 14 Elemente (Z1-Abhangigkeit) untersucht und, sowiet aus der Literatur verfugbar, die Zerstaubungsausbeuten Shinzugefugt. Die positive Sekundarionenausbeute fallt mit steigender Beschusionenmasse. Mit den Werten fur S, S+ und γ als Funktion von Z1 und Z2 wird eine Uberprufung des Schroeerschen Modells der adiabatischen Oberflachenionisation und die Bestimmung des Exponenten n nach einer Quotientenmethode vorgenommen. Die verschiedenen Abhangigkeiten von S und S+ werden auf der Grundlage dieses Modells diskutiert.
Databáze: OpenAIRE
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