Autor:	Tatuya Terazawa, Yoshimasa Kondo, Masanori Saito, Naoto Ohtake, Takao Saito
Rok vydání:	2006
Předmět:	Electron density Materials science Diamond-like carbon Analytical chemistry Electron temperature Plasma Electrical and Electronic Engineering Deposition (chemistry)
Zdroj:	IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials. 126:157-162
ISSN:	1347-5533 0385-4205
DOI:	10.1541/ieejfms.126.157
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::422b7f63919482695743a3712d956f8f https://doi.org/10.1541/ieejfms.126.157 Zobrazit plný text záznamu