Epitaxial Growth of β-Ga2O3 Thin Films on Si with YSZ Buffer Layer
Autor: | Hyung-Jin Choi, Jun Young Lee, Soo Young Jung, Ruiguang Ning, Min-Seok Kim, Sung-Jin Jung, Sung Ok Won, Seung-Hyub Baek, Ji-Soo Jang |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | ACS Omega. 7:43603-43608 |
ISSN: | 2470-1343 |
DOI: | 10.1021/acsomega.2c04387 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |