Cut-Off UV Light Filter to Prevent the Negative Slope of the Soft Lithography Hard Mold Walls
Autor: | T. A. Radzievskaya, N. N. Ivanov, S. A. Tarasov |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Russian Microelectronics. 51:539-544 |
ISSN: | 1608-3415 1063-7397 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |