Quantification of Nitrogen in Heavily-Doped Silicon Carbide by Soft X-Ray Emission Spectroscopy
Autor: | Sakiko Kawanishi, Takeshi Mitani, Masaru Takakura, Takeshi Yoshikawa, Hiroyuki Shibata |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | Sakiko Kawanishi, Takeshi Mitani, Masaru Takakura, Takeshi Yoshikawa, Hiroyuki Shibata |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |