On-Demand Metal-Oxide Polycrystalline Films Deposited byReactive Plasma Deposition with Dc-Arc Discharge

Autor: Toshiyuki Sakemi, Makoto Maehara, Tetsuya Yamamoto, Hisashi Kitami, Yutaka Furubayashi
Rok vydání: 2019
Předmět:
Zdroj: Journal of The Adhesion Society of Japan. 55:404-413
ISSN: 2187-4816
0916-4812
DOI: 10.11618/adhesion.55.404
Databáze: OpenAIRE