High-Performance Operation and Solder Reflow Compatibility in BEOL-Integrated 16-kb HfO2: Si-Based 1T-1C FeRAM Arrays

Autor:	T. Francois, J. Coignus, A. Makosiej, B. Giraud, C. Carabasse, J. Barbot, S. Martin, N. Castellani, T. Magis, H. Grampeix, S. Van Duijn, C. Mounet, P. Chiquet, U. Schroeder, S. Slesazeck, T. Mikolajick, E. Nowak, M. Bocquet, N. Barrett, F. Andrieu, L. Grenouillet
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	IEEE Transactions on Electron Devices. 69:2108-2114
ISSN:	1557-9646 0018-9383
DOI:	10.1109/ted.2021.3138360
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3ddb7a9963ca4b47a8c518521edbaeab https://doi.org/10.1109/ted.2021.3138360 Zobrazit plný text záznamu