Autor:	J. Ruud van Ommen, Riikka L. Puurunen, Aristeidis Goulas
Rok vydání:	2021
Předmět:	010302 applied physics Atomic layer deposition Materials science Chemical engineering business.industry 0103 physical sciences Microelectronics 02 engineering and technology Chemical vapor deposition 021001 nanoscience & nanotechnology 0210 nano-technology business 01 natural sciences
Zdroj:	Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology
DOI:	10.1002/0471238961.koe00059
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3dcd1b71f59bd99095b83b292560775d https://doi.org/10.1002/0471238961.koe00059 Zobrazit plný text záznamu