Exploration of Phosphorus Oxide in Heavily Phosphorus-Doped Polysilicon Films of Tunneling Oxide Passivation Contact Solar Cells

Autor: Yilin Wang, Zixuan Lan, Fei Xu, Lei Zhao, Jing Xu, Jia Chen, Ronglin Liu, Zheren Du, Huiwei Du, Zhongquan Ma
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: ACS Applied Electronic Materials. 4:3947-3954
ISSN: 2637-6113
DOI: 10.1021/acsaelm.2c00604
Databáze: OpenAIRE