A Spectroscopic Differential Reflectometry Study of (100), (110), (111), (311), and (511) Silicon Surfaces

Autor:	E. A. Irene, S. Chongsawangvirod
Rok vydání:	1990
DOI:	10.21236/ada231022
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3cb9ec2d1ee7d26713a61a0b847f7969 https://doi.org/10.21236/ada231022 Zobrazit plný text záznamu