基于FDTD的高深宽比沟槽结构低相干显微干涉信号仿真分析
| Autor: | 赵雨晴 ZHAO Yuqing, 高志山 GAO Zhishan, 袁群 YUAN Qun, 马剑秋 MA Jianqiu, 孙一峰 SUN Yifeng, 郭珍艳 GUO Zhenyan |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACTA PHOTONICA SINICA. 52:0112001 |
| ISSN: | 1004-4213 |
| DOI: | 10.3788/gzxb20235201.0112001 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|