New Aqueous Clean for Aluminum Interconnects: Part II. Applications
Autor: | B.N. Rhoads, G. Stojakovic, D.D. Miura, F. Schnabel, David L. Rath, Jeffrey P. Gambino, Ronald G. Filippi, Edward W. Kiewra, R.V.S.S.N. Ravikumar, Kenneth J. McCullough, D.J. Delehanty |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
Zdroj: | Solid State Phenomena. :51-54 |
ISSN: | 1662-9779 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/ssp.76-77.51 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |