Autor:	Herbert Welling, Boris N. Chichkov, Carsten Momma, Stefan Nolte
Rok vydání:	1999
Zdroj:	Physik Journal. 55:41-44
ISSN:	0031-9279
DOI:	10.1002/phbl.19990550611
Popis:	Ultrakurze Laserpulse ermoglichen fur nahezu alle Materialien eine extrem feine Mikrostrukturierung, gekennzeichnet durch sehr hohe Reproduzierbarkeit sowie minimale thermische und mechanische Schadigung. Wahrend die Genauigkeit der mit dieser Technik im Fernfeld erzielbaren Strukturen nur durch das Beugungslimit begrenzt ist, erlaubt die Bearbeitung im Nahfeld, sogar noch kleinere Strukturen zu erzeugen.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3b754f73a4f35383b990e59f61318f32 https://doi.org/10.1002/phbl.19990550611 Zobrazit plný text záznamu Plný text