Elaboration and Properties of CVD Ti-N-Si Coatings
Autor: | Roger Hillel, Georges Llauro, Francois Sibieude |
---|---|
Rok vydání: | 1998 |
Předmět: | |
Zdroj: | Chemical Vapor Deposition. :247-252 |
ISSN: | 1521-3862 0948-1907 |
DOI: | 10.1002/(sici)1521-3862(199812)04:06<247::aid-cvde247>3.0.co;2-f |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |