On the Role of Chlorine in the Passivation of MOS Structures

Autor:	W. Wronski
Rok vydání:	1979
DOI:	10.1515/9783112497609-033
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3aa46a958313b99198462679f3be2090 https://doi.org/10.1515/9783112497609-033 Zobrazit plný text záznamu