Strained-Si for CMOS 65nm node : Si0.8Ge0.2 SRB or 'Low Cost' approach ?
Autor: | N. Emonet, S. Jullian, Frederic Boeuf, C. Perrot, F. Payet, J. M. Hartmann, C. Laviron, Y. Campidelli, Pierre Morin, Francois Leverd, N. Villani, V. Carron, O. Kermarrec, N. Casanova, Thomas Skotnicki, D. Bensahel, Franck Arnaud |
---|---|
Rok vydání: | 2004 |
Předmět: | |
Zdroj: | Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |