Study on droplet removal adhered on edge of the wafer

Autor:	Kenji Amagai, Satomi Hamada, Tsubasa Arai, Naoyuki Handa, Hirokuni Hiyama, Masayoshi Imai, Ayako Yano
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science business.industry Optoelectronics Wafer Edge (geometry) business
Zdroj:	The Proceedings of Conference of Kanto Branch. 2020:17E06
ISSN:	2424-2691
DOI:	10.1299/jsmekanto.2020.17e06
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3a725987d929b59c9e7ddd137a8c5045 https://doi.org/10.1299/jsmekanto.2020.17e06 Zobrazit plný text záznamu