Dependence of Silicon Film Thickness on SOI-Lateral Junctionless MOSFET’s Parameters

Autor:	Evgenia A. Artamonova, Anton Y. Krasyukov, Darya I. Efimova, Mikhail A. Korolev, Alexey S. Klyuchnikov, Jsc «Niime», Moscow, Russia
Rok vydání:	2019
Předmět:	Materials science Silicon chemistry business.industry MOSFET Optoelectronics chemistry.chemical_element Silicon on insulator business Microbiology
Zdroj:	Proceedings of Universities. Electronics. 24:87-91
ISSN:	2587-9960 1561-5405
DOI:	10.24151/1561-5405-2019-24-1-87-91
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3a00baf101d47f3b065d31a818a21f0d https://doi.org/10.24151/1561-5405-2019-24-1-87-91 Zobrazit plný text záznamu