Al/Ti Ohmic Contacts to p-Type Ion-Implanted 6H-SiC: Mono- and Two- Dimensional Analysis of TLM Data
Autor: | Gian Carlo Cardinali, Antonella Poggi, Francesco Moscatelli, Roberta Nipoti, Andrea Scorzoni |
---|---|
Rok vydání: | 2003 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science Forum. :673-676 |
ISSN: | 1662-9752 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |