DUV laser lithography for photomask fabrication
Autor: | Curt A. Jackson, Peter Buck, Sarah Cohen, Vishal Garg, Charles Howard, Robert M. Kiefer, John Manfredo, James Tsou |
---|---|
Rok vydání: | 2004 |
Zdroj: | SPIE Proceedings. |
ISSN: | 0277-786X |
DOI: | 10.1117/12.534575 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |