Improving the Electrical Properties of NILC poly-Si Films using Gettering a-SiFfilm Through Contact Holes

Autor:	Chen-Ming Hu
Rok vydání:	2008
Zdroj:	ECS Meeting Abstracts. :2297-2297
ISSN:	2151-2043
DOI:	10.1149/ma2008-02/35/2297
Popis:	not Available.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::39080f2e6f955c1701e16ffbc6c1f938 https://doi.org/10.1149/ma2008-02/35/2297 Zobrazit plný text záznamu