Autor:	L. S. Hordon, K. M. Monahan
Rok vydání:	1996
Předmět:	Range (particle radiation) Materials science business.industry General Engineering Integrated circuit Semiconductor device law.invention Optics Resist law Cathode ray Penetration depth business Beam (structure) Voltage
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 14:3770
ISSN:	0734-211X
Popis:	Low‐voltage (
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3843f499b12ac48bfcfdb73f18ec887d https://doi.org/10.1116/1.588665 Zobrazit plný text záznamu