OES of a CO2-Ar Microwave Discharge to Support Modelling

Autor: C. Verheyen, N. Britun, R. Snyders, A. Bogaerts
Rok vydání: 2020
Zdroj: 2020 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS).
DOI: 10.1109/icops37625.2020.9717476
Databáze: OpenAIRE