Incremental FIB-DIC Ring-Core Methods for the Residual Stress Measurement of Bilayer Thin Films

Autor: N.M. Dang, W.-Y. Ku, Z.-Y. Wang, C.-H. Lin, T.Y.-F. Chen, M.-T. Lin
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Experimental Mechanics. 62:1489-1499
ISSN: 1741-2765
0014-4851
DOI: 10.1007/s11340-022-00877-z
Databáze: OpenAIRE