Incremental FIB-DIC Ring-Core Methods for the Residual Stress Measurement of Bilayer Thin Films
Autor: | N.M. Dang, W.-Y. Ku, Z.-Y. Wang, C.-H. Lin, T.Y.-F. Chen, M.-T. Lin |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Experimental Mechanics. 62:1489-1499 |
ISSN: | 1741-2765 0014-4851 |
DOI: | 10.1007/s11340-022-00877-z |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |