Transparent and passive Ta–Si–N thin films barrier layer

Autor:	Alexis Harmon, Darnell Robertson, Bijandra Kumar, Mehran Elahi, A.V. Adedeji
Rok vydání:	2021
Předmět:	Barrier layer Materials science business.industry Optoelectronics General Materials Science Thin film business
Zdroj:	MRS Communications. 11:950-954
ISSN:	2159-6867 2159-6859
DOI:	10.1557/s43579-021-00127-8
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::36c7c603a8fdd201698ce3efda3ffe02 https://doi.org/10.1557/s43579-021-00127-8 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink