ChemInform Abstract: Structure, Composition and Pitting Behavior of Sputtered Al, Al-Cr and Al-Ta Films

Autor: Z. Szklarska-Smialowska, R. B. Inturi
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: ChemInform. 24
ISSN: 0931-7597
DOI: 10.1002/chin.199342014
Databáze: OpenAIRE