Development of actuator for laser tracking interferometer system
Autor: | Tomohiro Yano, Takeo Suzuki, Tosiyuki Takatuji, Youichi Motomura, Tadayoshi Itabe |
---|---|
Rok vydání: | 2003 |
Předmět: | |
Zdroj: | The Proceedings of the Machine Design and Tribology Division meeting in JSME. :111-114 |
ISSN: | 2424-3051 |
DOI: | 10.1299/jsmemdt.2003.3.111 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |