Development of actuator for laser tracking interferometer system

Autor: Tomohiro Yano, Takeo Suzuki, Tosiyuki Takatuji, Youichi Motomura, Tadayoshi Itabe
Rok vydání: 2003
Předmět:
Zdroj: The Proceedings of the Machine Design and Tribology Division meeting in JSME. :111-114
ISSN: 2424-3051
DOI: 10.1299/jsmemdt.2003.3.111
Databáze: OpenAIRE