ChemInform Abstract: Selective Formation of Dimethylchlorosilane on Si Surfaces

Autor: J. L. Falconer, K. A. Magrini
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: ChemInform. 25
ISSN: 0931-7597
DOI: 10.1002/chin.199434289
Databáze: OpenAIRE