ChemInform Abstract: Selective Formation of Dimethylchlorosilane on Si Surfaces
Autor: | J. L. Falconer, K. A. Magrini |
---|---|
Rok vydání: | 2010 |
Předmět: | |
Zdroj: | ChemInform. 25 |
ISSN: | 0931-7597 |
DOI: | 10.1002/chin.199434289 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |