Doping Effects in CMOS‐compatible CoSi Thin Films for Thermoelectric and Sensor Applications
Autor: | Jesús Calvo, Meike Hindenberg, Maik Wagner-Reetz, Alexander T. Burkov, Charan Krishna Nichenametla, Sergej N. Novikov, Primož Kozelj, Stefan Riedel, Raul Cardoso-Gil, Lukas Gerlich |
---|---|
Rok vydání: | 2020 |
Předmět: |
010302 applied physics
business.industry Doping chemistry.chemical_element 02 engineering and technology 021001 nanoscience & nanotechnology Thermoelectric materials 7. Clean energy 01 natural sciences Inorganic Chemistry chemistry CMOS 0103 physical sciences Thermoelectric effect Optoelectronics Thin film 0210 nano-technology business Cobalt Cmos compatible |
Zdroj: | Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. 646:1231-1237 |
ISSN: | 1521-3749 0044-2313 |
DOI: | 10.1002/zaac.202000084 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |