Properties of TiZrN thin Film Formed by Arc Ion Plating Method using Ti-Zr Alloy Target
Autor: | Woon-Jo Jeong |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | The transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers. 71:987-992 |
ISSN: | 2287-4364 1975-8359 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |