Properties of TiZrN thin Film Formed by Arc Ion Plating Method using Ti-Zr Alloy Target

Autor: Woon-Jo Jeong
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: The transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers. 71:987-992
ISSN: 2287-4364
1975-8359
Databáze: OpenAIRE