Hot-spot detection and correction using full-chip based process window analysis
Autor: | Sang-Wook Kim, Sung-Soo Suh, Young-Chang Kim, Suk-Joo Lee, Jung-Hyeon Lee, Chang-Jin Kang, Joo-Tae Moon |
---|---|
Rok vydání: | 2007 |
Předmět: | |
Zdroj: | 2007 Digest of papers Microprocesses and Nanotechnology. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |