Nonlinear transmission line (NTL) model study of electromagnetic effects in high-frequency asymmetrically driven capacitive discharges
Autor: | Jian-Kai Liu, Emi Kawamura, Michael A. Lieberman, You-Nian Wang |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Physics of Plasmas. 29:013508 |
ISSN: | 1089-7674 1070-664X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |