Nonlinear transmission line (NTL) model study of electromagnetic effects in high-frequency asymmetrically driven capacitive discharges
| Autor: | Jian-Kai Liu, Emi Kawamura, Michael A. Lieberman, You-Nian Wang |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Physics of Plasmas. 29:013508 |
| ISSN: | 1089-7674 1070-664X |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|