Constant Electric Field Study of Time Dependent Dielectric Breakdown in a Low-k Interlevel Dielectric

Autor:	R. Pareis, J.R Lloyd
Rok vydání:	2021
Zdroj:	2021 IEEE International Integrated Reliability Workshop (IIRW).
DOI:	10.1109/iirw53245.2021.9635618
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::32501e89d1dea7e584dcc426e0333def https://doi.org/10.1109/iirw53245.2021.9635618 Zobrazit plný text záznamu