High-Accuracy Sample Preparation for Three Dimensional Atom Probe Tomography Using Orthogonal Column Layout FIB-SEM and its STEM function
Autor: | Takahiro Sato, Tsuyoshi Onishi, Miki Tsuchiya, Xin Man, Junichi Katane, Yoshihisa Orai |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | Microscopy and Microanalysis. 24:830-831 |
ISSN: | 1435-8115 1431-9276 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |