Dickenbestimmung transparenter Schichten mit einem chromatisch-konfokalen Sensor

Autor:	Michael Quinten
Rok vydání:	2019
Předmět:	Materials science Electrical and Electronic Engineering Instrumentation
Zdroj:	tm - Technisches Messen. 86:345-349
ISSN:	2196-7113 0171-8096
DOI:	10.1515/teme-2019-0059
Popis:	Zusammenfassung Die optische Bestimmung der Dicke transparenter Objekte oder dicker transparenter Schichten kann ziemlich einfach mit einem chromatisch-konfokalen Sensor durchgeführt werden. Die Dicke erhält man als Differenz zweier Distanzpeaks multipliziert mit dem Brechungsindex des Probenmaterials. Eine detailliertere Analyse zeigt jedoch, dass das Ergebnis korrigiert werden sollte mit einem Faktor, der die Lichtbrechung genau berücksichtigt. In dieser Veröffentlichung wird dieser Faktor abgeleitet und diskutiert, und es werden tabellierte Werte für einige Brechungsindizes und verschiedene Aperturwinkel des chromatisch-konfokalen Sensors angegeben.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::317afae604590344f9aaa4f33efc8d7a https://doi.org/10.1515/teme-2019-0059 Zobrazit plný text záznamu