Stress Development during the Reactive Formation of Silicide Films
Autor: | François M. d'Heurle, Patrice Gergaud, Olivier Thomas, Christian Rivero |
---|---|
Rok vydání: | 2005 |
Předmět: | |
Zdroj: | Defect and Diffusion Forum. :801-812 |
ISSN: | 1662-9507 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/ddf.237-240.801 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |