Terahertz metal bi-grating fabrication using ultra-thick photoresist process
| Autor: | 单云冲 Shan Yunchong, 阮久福 Ruan Jiufu, 杨军 Yang Jun, 邓光晟 Deng Guangsheng, 吕国强 Lü Guoqiang |
|---|---|
| Rok vydání: | 2014 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | High Power Laser and Particle Beams. 26:53102 |
| ISSN: | 1001-4322 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|