Структура и свойства наноструктурных пленок NbN И Nb–Si–N в зависимости от условий осаждения: эксперимент и теория
| Autor: | G. Abadias |
|---|---|
| Rok vydání: | 2015 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Физика металлов и металловедение. 116:1069-1082 |
| ISSN: | 0015-3230 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|