Тонкие пленки оксида вольфрама для высокотемпературного полупроводникового детектора водорода на кристалле 6H-SiC
Autor: | V. Yu. Fominski, S. N. Grigoriev, M. V. Demin, V. V. Zuev, R. I. Romanov, M. A. Volosova |
---|---|
Rok vydání: | 2016 |
Předmět: | |
Zdroj: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. :86-92 |
ISSN: | 0207-3528 |
DOI: | 10.7868/s0207352816060044 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |