Тонкие пленки оксида вольфрама для высокотемпературного полупроводникового детектора водорода на кристалле 6H-SiC

Autor: V. Yu. Fominski, S. N. Grigoriev, M. V. Demin, V. V. Zuev, R. I. Romanov, M. A. Volosova
Rok vydání: 2016
Předmět:
Zdroj: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. :86-92
ISSN: 0207-3528
DOI: 10.7868/s0207352816060044
Databáze: OpenAIRE