Development of Electron Optics System for 'ETHOS' High-Performance FIB-SEM
| Autor: | Shunsuke Sato, Ryo Hirano, Akinari Morikawa, Yo Yamamoto, Chisato Kamiya, Tsunenori Nomaguchi, Hidekazu Suzuki, Hiroyuki Suzuki |
|---|---|
| Rok vydání: | 2018 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Microscopy and Microanalysis. 24:836-837 |
| ISSN: | 1435-8115 1431-9276 |
| DOI: | 10.1017/s1431927618004671 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|