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L’etude de la pyrolyse du silane en regime dynamique entre 480 et 580°C a ete entreprise de facon a permettre le calcul des constantes cinetiques de la reaction. Les auteurs distinguent les phenomenes initiaux et ceux obtenus apres la periode d’induction, ou apparaissent en fonction de la temperature deux domaines, 480-540°C et 540-580°C, caracterises chacun par des valeurs differentes des ordres et des energies d’activation de la decomposition du silane et de la formation des produits gazeux, hydrogene et disilane. Des mecanismes reactionnels sont proposes et discutes pour chacun de ces domaines. |
