ChemInform Abstract: Deposition, Annealing and Characterization of High-Dielectric Constant Metal Oxide Films
Autor: | K. R. Coyle, G. Zorn, D. A. Bohling, B. S. Felker, W. Kern, H. Treichel, A. P. Lane, G. Tempel, M. George, A. Mitwalsky, N. P. Sandler |
---|---|
Rok vydání: | 2010 |
Předmět: | |
Zdroj: | ChemInform. 26 |
ISSN: | 0931-7597 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |