DUAL-BEAM ACTUATION OF PIEZOELECTRIC ALN RF MEMS SWITCHES MONOLITHICALLY INTEGRATED WITH ALN CONTOUR-MODE RESONATORS
Autor: | Gianluca Piazza, Rashed Mahameed, Nipun Sinha, C. Zuo, Carlos R. Perez, M. B. Pisani |
---|---|
Rok vydání: | 2008 |
Předmět: | |
Zdroj: | 2008 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest. |
DOI: | 10.31438/trf.hh2008.6 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |