DUAL-BEAM ACTUATION OF PIEZOELECTRIC ALN RF MEMS SWITCHES MONOLITHICALLY INTEGRATED WITH ALN CONTOUR-MODE RESONATORS

Autor: Gianluca Piazza, Rashed Mahameed, Nipun Sinha, C. Zuo, Carlos R. Perez, M. B. Pisani
Rok vydání: 2008
Předmět:
Zdroj: 2008 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest.
DOI: 10.31438/trf.hh2008.6
Databáze: OpenAIRE