Book Review: Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices. By H. Baltes, O. Brand, G. K. Fedder, C. Hierold, J. G. Korvink, O. Tabata (Eds.)

Autor:	Vladimir V. Tsukruk
Rok vydání:	2005
Předmět:	Microelectromechanical systems Materials science Mechanics of Materials Mechanical Engineering General Materials Science Nanotechnology
Zdroj:	Advanced Materials. 17:2389-2390
ISSN:	1521-4095 0935-9648
DOI:	10.1002/adma.200590096
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::29d316f005c0f8bdd0ff538047b9f7e7 https://doi.org/10.1002/adma.200590096 Zobrazit plný text záznamu Plný text