Influence of Laser Annealing of Silicon Enriched SiOx Films on their Electrical Conductivity

Autor:	O. Pylypova, S. Antonin, L. Fedorenko, Ya Muryi, V. Skryshevsky, A. Evtukh
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Silicon. 14:12599-12605
ISSN:	1876-9918 1876-990X
DOI:	10.1007/s12633-022-01959-2
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2765f89c514e50e48aff8dd4672cca76 https://doi.org/10.1007/s12633-022-01959-2 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink