Simple Prediction of Nonlinear Frequency Response for MEMS Diaphragm with Initial Deformation

Autor:	Kensuke Kanda, Yoshitaka Kajiyama, Yoshiaki Hirata, Yasuhisa Shimakura, Takayuki Fujita, Kazusuke Maenaka
Rok vydání:	2023
Předmět:	Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 143:137-142
ISSN:	1347-5525 1341-8939
DOI:	10.1541/ieejsmas.143.137
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::275b2d05d981bf6771aa3c0d5dca8d65 https://doi.org/10.1541/ieejsmas.143.137 Zobrazit plný text záznamu