The Formation of a Height-Modulated Dielectric Film

Autor: A. O. Zotov, A. A. Perevalov, I. V. Sagunova
Rok vydání: 2019
Předmět:
Zdroj: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 475:012021
ISSN: 1757-899X
DOI: 10.1088/1757-899x/475/1/012021
Databáze: OpenAIRE