The Formation of a Height-Modulated Dielectric Film
Autor: | A. O. Zotov, A. A. Perevalov, I. V. Sagunova |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 475:012021 |
ISSN: | 1757-899X |
DOI: | 10.1088/1757-899x/475/1/012021 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |