Evaluation of fracture toughness of single crystal silicon using CSF method

Autor: Kazuki Iida, Takasi Tominaga, Masayoshi Tateno, Yudai Shiroki
Rok vydání: 2018
Předmět:
Zdroj: The Proceedings of Ibaraki District Conference. :204
ISSN: 2424-2683
Databáze: OpenAIRE