ChemInform Abstract: LATERAL EPITAXIAL OVERGROWTH OF SILICON ON SILICON DIOXIDE

Autor:	D. D. Rathman, J. A. Burns, D. J. Silversmith
Rok vydání:	1983
Předmět:	chemistry.chemical_compound Silicon chemistry business.industry Silicon dioxide chemistry.chemical_element Optoelectronics General Medicine Epitaxy business
Zdroj:	Chemischer Informationsdienst. 14
ISSN:	0009-2975
DOI:	10.1002/chin.198306005
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::24a2a996f8d6f6df23fa0a5199d77893 https://doi.org/10.1002/chin.198306005 Zobrazit plný text záznamu Plný text