Short pulse-enhanced vacuum arc evaporation

Autor:	V.O. Oskirko, I.M. Goncharenko, S.I. Arestov, V.A. Semenov, M.I. Azhgikhin, A.P. Pavlov, A.A. Solovyev
Rok vydání:	2022
Předmět:	Condensed Matter Physics Instrumentation Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Vacuum. 205:111459
ISSN:	0042-207X
DOI:	10.1016/j.vacuum.2022.111459
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::236ea41ebb5217996a2338147d39fee1 https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111459 Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect